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"密桃成熟时",快科技5月7日消息，据媒体报道，SK海力士正在评估东京电子最新的低温蚀刻设备，该设备可以在-70℃的低温下运行，用来生成400层以上堆叠的新型3DNAND。据了解，SK海力士此次并未直接引进设备，而是选择将测试晶圆发送到东京电子的实验室进行评估，以验证新设备在生产中的实际表现。这一举措显示了SK海力士在新技术引入上的谨慎态度和对质量的严格把控。与传统的蚀刻工艺相比，东京电子的这款低温蚀刻设备在工作温度上形成了鲜明对比。传统蚀刻工艺通常在0℃到30℃的温度范围内进行，而这款新设备能在-70℃的低温下运行，这样的低温环境为生产更高性能的3DNAND提供了可能。据东京电子提供的论文数据，这款新的蚀刻机能在短短33分钟内完成10微米深的高深度比蚀刻，效率比现有工具高出三倍以上。这一显著的技术进步不仅提高了3DNAND的生产效率，还有望进一步推动闪存技术的发展。目前，SK海力士的321层3DNAND采用了三重堆栈结构。而采用东京电子的新设备后，该公司可能实现以单堆栈或双堆栈的方式构建400层的3DNAND，这将进一步提升生产效率。然而，这一目标的实现还需等待新设备在可靠性及性能一致性方面的进一步验证。值得一提的是，东京电子的这款低温蚀刻设备在环保方面也表现出色。它采用氟化氢（HF）气体作为蚀刻介质，相较于传统系统使用的氟碳化物气体，具有更低的温室效应，为半导体行业的绿色发展提供了有力支持。此外，全球半导体巨头三星也在验证这一新技术。与SK海力士不同，三星选择了直接引进东京电子的新设备进行测试，显示出其对新技术的高度关注和积极态度。【本文结束】如需转载请务必注明出处：快科技责任编辑：鹿角

"密桃成熟时",王语琤/红星新闻5月4日，游客在福州连江县晓沃镇的一处海滩游玩，踩进了村民的蛏田。网传游客被村民“索赔”3万元，引起广泛--**--　　王语琤/红星新闻　　5月4日，游客在福州连江县晓沃镇的一处海滩游玩，踩进了村民的蛏田。网传游客被村民“索赔”3万元，引起广泛热议。网传视频截图　　5月6日，晓沃镇政府工作人员告诉红星新闻，据了解，5月4日，大约七八名外地游客沿一条公共陆海生产通道前往滩涂游玩。下午1点左右，这几名游客进入村民的蛏田里挖蛏子，村民发现后，双方发生了口角冲突。争执中，村民提到自己为这块蛏田投入了3万多元成本，游客挖了蛏子应该赔钱。　　镇政府、村委会工作人员赶赴现场协助调解。十多分钟后，双方不再争执，游客离开，村民也没有索要赔偿。镇政府工作人员表示，所谓“3万元”是村民在气头上说的话，并不是真的想让游客赔这么多钱，双方都没有因此报警，也没有发生经济赔偿。　　网传视频中，曾有事发地附近景区工作人员对此事发声。但多方人士告诉红星新闻记者，事发地位于景区外，距离景区约有1~2公里的距离。上述镇政府工作人员表示，景区边界有围栏等明显标识。当事游客没有从景区入口进入海滩，也没有购买景区门票，事发位置离景区确实有相当一段距离。

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作者：兰文翰

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